納米壓痕技術(shù)

該技術(shù)的成功取決于對接觸機理的理解和高級數(shù)據(jù)采集工具的可用性。基本思想是，當(dāng)我們使用非常小的探針/壓頭來探查材料時，可以基于探針與材料的相互作用來預(yù)測材料的性能。背后的物理學(xué)可以追溯到1800年代，當(dāng)時Hertz，Sneddon和許多其他研究人員開發(fā)了兩體接觸所需的接觸力學(xué)，但是直到1990年代，Oliver和Pharr才將其進一步發(fā)展并找到了一種測量模量和強度的方法。材料與另一種已知材料接觸的硬度。

硬件更新

具有實時傳感位置的閉環(huán)X/Y/Z平臺（80 nm分辨率）

更強大的可重復(fù)測量

提高查找表面速度10倍

無聲運動

高精度力學(xué)測量

最小化樣品的預(yù)應(yīng)力

更深的壓痕測量深度(100 µm)

軟件更新

保存并優(yōu)化實驗配置以*自動化測量

優(yōu)化的粘附模式允許測量表面更“粘"樣品

測量期間干涉信號的實時校準(zhǔn)